OTL-PECVD-1200-1400-1200 তিনটি তাপমাত্রা অঞ্চল PECVD সিস্টেম, তিনটি স্লাইডার টাইপ ভ্যাকুয়াম পাইপ চুল্লি, কোয়ার্টজ ভ্যাকুয়াম কক্ষ, রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি পাওয়ার সাপ্লা

প্রধান বৈশিষ্ট্য:

1. রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি পাওয়ার সাপ্লাই মাধ্যমে কোয়ার্টজ ভ্যাকুয়াম কক্ষের গ্যাস আয়নিক অবস্থ

সাধারণ সিভিডির চেয়ে রাসায়নিক গ্যাস অবশিষ্ট করার জন্য প্রয়োজনীয় তাপমাত্রা কম

3, রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি শক্তি সরবরাহের ফ্রিকোয়েন্সি মাধ্যমে জমা ফিল্মের চাপের আকার নিয়ন্ত্

সাধারণ সিভিডির চেয়ে রাসায়নিক গ্যাস অবশিষ্টকরণের হার উচ্চ, ভাল সমতা, সামঞ্জস্য এবং স্থিতিশীলতা PECVD।

ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়ঃ বিভিন্ন ধরনের পাতলা ফিল্মের বৃদ্ধি, যেমনঃ SiOx, SiNx, SiOxNy এবং স্টেরোটাইপহীন সিলিকান (a-Si: H) ইত্যাদ

এই তিন তাপমাত্রা অঞ্চল PECVD সিস্টেম একটি দ্রুত উত্তাপ, শীতল PECVD সিস্টেম, তিনটি পাইপ চুল্লিতে একটি জোড়া বৈদ্যুতিক স্লাইডিং রেল ইনস্ট গরম এবং শীতল করার হার সর্বোচ্চ 100 ° C / মিনিট পর্যন্ত। সবচেয়ে দ্রুত গরম করার জন্য, সেট তাপমাত্রায় চুলাটি পূর্বে গরম করা যেতে পারে এবং তারপর চুলাটি নমুনা স্থানে স্থানস্থাপন করুন। সবচেয়ে দ্রুত শীতল করার জন্য, নমুনা গরম করার পর চুলাটি অন্য প্রান্তে স্থানান্তরিত করা যেতে পারে। তাপ এবং শীতল করার হার ভ্যাকুয়াম বা নিষ্ক্রিয় গ্যাস পরিবেশে পৌঁছানো যেতে পারে10 ডিগ্রি সেলসিয়াস / সেকেন্ড, কম খরচে দ্রুত গরম, শীতল দ্বৈত তাপমাত্রা অঞ্চল PECVD সিস্টেম।

এই তিনটি তাপমাত্রা অঞ্চল PECVD সিস্টেম সুইডিশ Kanthal প্রতিরোধের তার এবং সিলিকান কার্বন বার গরম উপাদান হিসাবে, দ্বৈত স্তরের হেস কাঠামো এবং 30 অংশ প্রোগ্রাম তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ মিটার গ্রহণ, ফেজ স্থানান্তরিএবং চাপ মিটার, ভ্যাকুয়াম পাম্প করার সময় ভ্যাকুয়াম ডিগ্রি 10-3 Pa পৌঁছাতে পারেন, দুটি তাপমাত্রা অঞ্চল বিভক্ত, দুটি তাপমাত্রা অঞ্চল স্বাধীনভাবে নিয়ন্ত্রণ করা যেতে পারে, বিভিন্ন তাপমাত্রা সেট করা যেতে প নোড, গ্রাফেন বৃদ্ধি, বিভিন্ন ধরনের পাতলা ফিল্ম বৃদ্ধি জন্য আদর্শ পণ্য।

(1), সিলিকন কার্বন বারের গরম শেষ বেধ ডি 14 মিমি, সাধারণ নির্মাতারা 12 মিমি গ্রহণ করে, গরম শেষ বেধ, সহজে নমনীয় নয়, বারের পৃষ্ঠের লোড কম, দীর্ঘ সেবা জ

（2), মি ঠান্ডা শেষ দৈর্ঘ্য 210 মিমি, সাধারণ নির্মাতা 180 মিমি গ্রহণ করে, ঠান্ডা শেষ দীর্ঘ চুল্লি শীর্ষ তাপমাত্রা

(3), সিলিকান কার্বন বার পৃষ্ঠ অক্সাইড অ-স্ফটিক ফিল্ম ঘন, কার্বন বার তুলনামূলকভাবে ভাল সুরক্ষা করতে প

যখন সার্কিট অতিরিক্ত প্রবাহ বা ফুটে, খালি খোলা স্বয়ংক্রিয়ভাবে বিচ্ছিন্ন হবে

বায়ুমণ্ডল পাইপ চুল্লিকিন্তুযোগাযোগ ইন্টারফেস এবং সফটওয়্যার দিয়ে সজ্জিত, কম্পিউটারের মাধ্যমে সরাসরি চুল্লির বিভিন্ন পরামিতি নিয়ন্ত্রণ করতে পারেন এবং কম্পিউটার থেকে চুল্লিতে পিভি এবং এসভি তাপমাত্রা মান এবং মিটা

(1), ভ্যাকুয়াম শোষণ ছাঁচনির্মাণের উচ্চ মানের উচ্চ বিশুদ্ধ অ্যালুমিনিয়াম অক্সাইড পলিক্রিস্টাল ফাই
(২) জাপানি প্রযুক্তি ব্যবহার করে।
(3), চুল্লি উপাদান কম তাপ ক্ষমতা, তাপ পরিবাহক কম, তাই কম তাপ, ভাল নিরোধক, উচ্চ প্রতিফলন। তাপমাত্রা ভারসাম্য।
(4), চুল্লি অ্যালুমিনিয়াম অক্সাইড সূক্ষ্ম এবং দীর্ঘ, উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধী, প্রতিরোধী তাপ বৃদ্
(5), চুল্লির পৃষ্ঠ পরিষ্কার, গুঁড়া খেলা সহজ নয়।

(সমস্ত ইউএল সার্টিফাইড আমদানি বৈদ্যুতিক যন্ত্রপাতি)