OTL-PECVD-1200 PECVD সিস্টেম, OTL1200 ভ্যাকুয়াম পাইপ চুল্লি, কোয়ার্টজ ভ্যাকুয়াম কক্ষ, রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি পাওয়ার সাপ্লাই, জিএক্স গ্যাস সরবরাহ সিস্টে

প্রধান বৈশিষ্ট্য:

1. রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি পাওয়ার সাপ্লাই মাধ্যমে কোয়ার্টজ ভ্যাকুয়াম কক্ষের গ্যাস আয়নিক অবস্থ

PECVD সাধারণ CVD এর চেয়ে রাসায়নিক গ্যাস অবশিষ্ট করার জন্য প্রয়োজনীয় তাপমাত্রা কম।

রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি পাওয়ার সাপ্লাইয়ের ফ্রিকোয়েন্সির মাধ্যমে জমা ফিল্মের চাপের আকার নিয়ন্

সাধারণ সিভিডির চেয়ে রাসায়নিক গ্যাস অবশিষ্টকরণের হার উচ্চ, ভাল সমতা, সামঞ্জস্য এবং স্থিতিশীলতা PECVD।

ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়ঃ বিভিন্ন ধরনের পাতলা ফিল্মের বৃদ্ধি, যেমনঃ SiOx, SiNx, SiOxNy এবং স্টেরোটাইপহীন সিলিকান (a-Si: H) ইত্যাদ

OTL-PECVD-1200 PECVD সিস্টেম সুইডিশ Kanthal প্রতিরোধের তারের গরম উপাদান হিসাবে, দ্বৈত শেল কাঠামো এবং 30 অংশ প্রোগ্রাম তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ মিটার গ্রহণ, স্থানান্তরিত ট্রিগার, নিয়ন্ত্রণযোগ্য সিলিকন নিয়ন্ত্রণ, চুল্লি অ্যালুমিনিয়াম অক্সাইড পলিক্রিস্টাল ফাইবার উপ

(3) প্রতিরোধের ভারসাম্য, তাপমাত্রা ভারসাম্য ভাল

উত্তাপ উপাদান: সুইডেন Kanthal A1 আমদানি প্রতিরোধের তারের (প্রতিরোধের তারের 2 বছরের গ্যারান্টি প্রতিশ্রুতিবদ্ধ

যখন সার্কিট অতিরিক্ত প্রবাহ বা ফুটে, খালি খোলা স্বয়ংক্রিয়ভাবে বিচ্ছিন্ন হবে

এই চুল্লি যোগাযোগ ইন্টারফেস এবং সফটওয়্যার সহ সজ্জিত, সরাসরি কম্পিউটারের মাধ্যমে চুল্লির বিভিন্ন পরামিতি নিয়ন্ত্রণ করতে পারে, এবং কম্পিউটার থেকে চুল্লিতে পিভি এবং এসভি তাপমাত্রা মান এবং মিটার অপ

(২) জাপানি প্রযুক্তি ব্যবহার করে।

(3) চুল্লির প্রতিরোধের তারের দূরত্ব এবং সংরক্ষণ সমস্ত জাপানের সর্বোত্তম তাপ প্রযুক্তি অনুযায়ী, তাপ প্রযুক্তি সফটওয়্যা

(4) চার সপ্তাহের উত্তাপ গ্রহণ, তাপমাত্রা ক্ষেত্র আরও ভারসাম্যপূর্ণ

(সমস্ত ইউএল সার্টিফাইড আমদানি বৈদ্যুতিক যন্ত্রপাতি)